编号领域/尺度类型名称和说明数学方程式/理论表达工程流程序号关联知识NOC.0601原子级量子隧穿概率约束在2nm栅极下，电子隧穿概率必须足够低以防止过度栅极漏电隧穿概率: Pt​=exp(−2∫0Tox​​2m∗(V(x)−E)​/ℏdx)，约束: Pt​10−4QUANTUM-TUNNEL-1001量子隧穿、栅极漏电、氧化层厚度NOC.0602原子级表面态密度约束硅/高K界面陷阱态密度必须低于临界值以保证载流子迁移率约束: Dit​5×1010cm−2eV−1INTERFACE-STATE-1001界面态、迁移率退化、高K介质