摘要在传统的 Talbot 光刻中在光敏层中仅使用一个图像。 但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像在主像平面中会再现柱状图案而在次要像平面中再现孔图案。建模任务structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)系统建模块特定位置的Talbot图案特定位置的Talbot图案不同位置的Talbot图案不同位置的Talbot图案沿 Z 轴的强度VirtualLab Fusion技术文件信息