63SECS‑GEM 基础回顾与EAP视角协议深度理解一、本课学习目标回顾SECS‑GEM核心基础概念建立EAP工程师专属理解视角区分SECS‑I / SECS‑II / GEM / HSMS 层级关系与各自作用掌握EAP与设备交互时关键SxFy报文的实际业务意义理解会话建立、心跳保活、事务应答机制对故障排查的指导作用能够从协议视角解释常见通信、应答、状态类异常根因二、SECS‑GEM 协议栈层级回顾从上到下1. GEM (Generic Equipment Model, SEMI E30)定位应用层规范定义设备行为模型、状态机、事件、报警、远程控制规则核心内容设备状态模型、主机/设备权限、事件上报机制、报警定义、远程命令规范EAP视角GEM规定了设备应该怎么配合自动化机台不遵守GEM规则EAP再正常也无法实现自动化。2. SECS‑II (SEMI E5)定位表示层/会话层定义SECS消息格式、数据类型、事务结构、W位应答位核心每条SxFy消息结构、列表/二进制/字符串等数据格式、事务ID、W0无需应答 / W1需要应答EAP视角EAP收发的每一条报文都必须符合SECS‑II格式格式错误直接通信异常。3. SECS‑I (SEMI E4)定位早期串口物理层/传输层规范现已基本淘汰FAB内极少使用。4. HSMS (High‑Speed SECS Message Service, SEMI E37)定位基于TCP/IP的高速传输层规范现代半导体工厂唯一主流传输方式关键参数TCP端口、DeviceID、T3(应答超时)、T5(心跳间隔)、T6、T7、HSMS‑SS/HS模式EAP视角HSMS是EAP和设备之间的“通信管道”管道不通上层SECS‑II/GEM都无法交互。层级简单总结TCP/IP网络 → HSMS管道→ SECS‑II报文格式→ GEM设备行为规则三、HSMS 核心机制与EAP运维要点1. 会话建立EAP与设备建立TCP连接 → 协商HSMS会话 → 完成Select 会话选择才进入可交互状态。未Select成功即使TCP连通也无法收发SECS消息。2. 心跳保活T5 LinktestT5两端约定心跳间隔时间一端发送Linktest请求另一端必须应答长时间无交互时靠心跳判断链路存活EAP常见问题T5设置过小设备瞬时负载高未及时应答被判定离线。3. T3 事务应答超时当W1时接收方必须在T3时间内回复对应应答报文超时则判定事务失败EAP日志打印T3 Timeout大配方下发、大数据Trace采集场景需要合理调大T3。4. DeviceID两端DeviceID必须严格一致是会话建立的重要校验项。四、EAP高频使用SxFy报文业务含义回顾只梳理运维最常用、必须理解的报文S1F1 / S1F2主机请求设备通信建立握手设备应答最基础联机交互S5F1 / S5F2设备上报报警主机应答S5F3 / S5F4设备上报报警清除主机应答S6F11 / S6F12设备发送事件报告请求S6F13 / S6F14事件数据上报LotStart、LotEnd等自定义CEID大多在此S7F1 / S7F2查询设备可用Recipe列表S7F3 / S7F4下载配方到设备S7F17 / S7F18激活指定RecipeS10F1 / S10F2主机请求设备状态变量SVS10F3 / S10F4主机请求报警变量AV关键认知EAP不自定义这些报文只是按照规范发送、接收、解析、转发业务。五、GEM设备状态机核心EAP必须适配GEM定义设备四大基础状态OFFLINE设备不接受主机控制与通信LOCAL本地模式主机只能查询无法下发控制类指令Start、配方激活等REMOTE远程模式主机具备完整自动化控制权限内部子状态INIT、READY、BUSY/RUN、PAUSE等EAP视角常见问题设备切LOCALEAP下发Start无响应不是EAP故障是GEM权限规则限制。设备处于INIT自检状态拒绝外部指令需等待自检完成。六、从协议视角解读三类经典故障故障1TCP能ping通、端口通设备始终OFFLINE协议层面排查HSMS层DeviceID不一致、HSMS模式不匹配、Select会话失败GEM层设备GEM总开关关闭、强制OFFLINE状态故障2下发S7F3配方下载频繁T3超时协议层面SECS‑II报文数据量大T3设置过小HSMS/网络传输过程丢包、延迟过高故障3设备面板有报警EAP收不到S5报文协议层面GEM配置设备关闭Alarm Report上报功能SECS/HSMS会话异常设备报文无法送达主机七、本课核心总结协议栈关系TCP/IP → HSMS(传输) → SECS‑II(报文格式) → GEM(设备行为规则)。HSMS核心参数DeviceID、T3、T5、SS/HS模式是联机类故障高频排查点。掌握S1/S5/S6/S7/S10系列常用报文是看懂日志、定位业务故障的基础。GEM状态机LOCAL/REMOTE/OFFLINE直接决定主机是否拥有设备控制权限。区分是网络问题、HSMS传输问题、SECS格式问题还是GEM设备行为问题可分层快速排障。八、课后小作业简述SECS‑I、SECS‑II、HSMS、GEM各自作用。T3和T5分别代表什么含义S5F1和S5F3分别是什么报文设备切为LOCAL模式对EAP远程控制有什么影响TCP连通但无法建立SECS会话优先排查哪两个HSMS配置项